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近日，南京大学公布2022年11至12月政府采购意向，其中意向采购聚焦离子束系统、原子力显微镜和高分辨扫描电子显微镜与阴极荧光系统，总预算金额1340万元人民币。
| 采购单位 | 采购项目 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额 | 预计 |
| 名称 | (万元) | 采购日期 | |||
| 南京大学 | 原子力显微镜 | A02100301 显微镜 | 采购原子力显微镜1台，要求具备样品表面形貌的原子力扫描成像功能，主要用于半导体材料与器件形貌的表征。通过探针针尖的原子力作用扫描样品表面，获得包括高度、力学、电学和粗糙度等信息。 设备主要由以下几部分组成：测试主机、显微系统、控制主机、控制系统与软件、配套附件等。 具备多种工作模式：包括但是不限于 接触模式；轻敲模式；自动扫描模式；磁力显微镜；横向力显微镜；相位成像。具备大范围的样品水平扫描能力；具备大范围的Z轴扫描能力，具有智能自动进针方式，附带正版操作系统与软件，可放置样品*大支持8寸，向下兼容，具备高分辨同轴直视光学系统：在操作原子力显微镜的同时，可获得光学图像；配备主动电磁式防震平台， 随设备提供满足设备质保期内正常使用的常用备件与耗材，包括用于8英寸及以下尺寸晶圆和不规则小片的托盘和夹具等。 质保期：自设备验收之日起至少1年，质保期内提供全免费保修。在质保期满后继续提供技术支持。 交货地点：南京大学仙林校区。 售后服务响应要求：供应商必须保证快速的服务响应，得到通知后，应在4小时内提供技术支持。需要上门服务的，应在72小时内赶到现场。 培训要求：设备及其中的重要部件应附带使用手册。设备安装、调试、验收完成后，供应商对采购人的设备管理、维护人员进行免费培训，包括软件、硬件的操作和日常维护、典型应用工艺。 | 200 | 2022年12月 |
| 南京大学 | 聚焦离子束系统 | A02100305 电子光学及离子光学仪器 | 采购聚焦离子束系统1台，具备样品表面形貌的扫描电子显微成像功能和聚焦离子束加工能力，主要用于半导体材料与器件形貌的表征，TEM制样和图形定制。通过高分辨的扫描电子图像，获得包括高度、材料、电学和粗糙度等信息。搭配离子束源加工系统，能够对样品进行图形加工。搭配能谱仪EDS，能够实现扫描图像与元素分析的对应关系。具备液态 Ga 离子源，电子枪类型为肖特基场发射灯丝；配备独立二次电子探测器，配备镜筒内独立二次电子探测器；配备CCD 相机系统；可实现二次电子信号与背散射信号同时成像；拥有至少1支独立的单气体注入系统，全无油真空系统；配备 UPS 电源系统。配置操作系统，至少两台 24” LCD 显示器；带有旋钮控制面板键盘、鼠标, 控制样品台的遥感操作系统。配置能谱仪EDS一套，配置主动式减震台一套，包括用于6英寸及以下尺寸晶圆和不规则小片的托盘和夹具等。质保期：自设备验收之日起至少1年，质保期内提供全免费保修。在质保期满后继续提供技术支持。 交货地点：南京大学仙林校区。售后服务响应要求：供应商必须保证快速的服务响应，得到通知后，应在4小时内提供技术支持。需要上门服务的，应在72小时内赶到现场。 培训要求：设备及其中的重要部件应附带使用手册。设备安装、调试、验收完成后，供应商对采购人的设备管理、维护人员进行免费培训，包括软件、硬件的操作和日常维护、典型应用工艺。 | 650 | 2022年12月 |
| 南京大学 | 高分辨扫描电子显微镜与阴极荧光系统 | A02100301 显微镜 | 采购高分辨扫描电子显微镜与阴极荧光系统1套，具备样品表面形貌的扫描电子显微成像功能，用于半导体材料与器件形貌的表征。通过高分辨的扫描电子图像，获得包括高度、材料、电学和粗糙度等信息。能够实现二次电子成像；搭配阴极荧光测试系统，能够对样品的发光性能进行分析表征。能够实现扫描图像与阴极荧光光谱的对应。 具备低电压配备电子束减速模式，配置样品电流监视器，无油机械泵，磁悬浮涡轮分子泵和离子泵。至少2台24”LCD显示器，计算机系统附带专业Windows 操作系统，预留光电关联接口。配置阴极荧光光谱仪探测器一套 配置主动减震台，配置液氮冷冻装置 一套，随设备提供满足设备质保期内正常使用的常用备件与耗材，包括用于6英寸及以下尺寸晶圆和不规则小片的托盘和夹具等。质保期：自设备验收之日起至少1年，质保期内提供全免费保修。交货地点：南京大学仙林校区。 供应商必须保证快速的服务响应，得到通知后，应在4小时内提供技术支持。需要上门服务的，应在72小时内赶到现场。设备及其中的重要部件应附带使用手册。设备安装、调试、验收完成后，供应商对采购人的设备管理、维护人员进行免费培训，包括软件、硬件的操作和日常维护、典型应用工艺。 | 490 | 2022年12月 |
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